太陽能集熱管鍍膜技術的原理及特點

目前，我國制作真空集熱管普遍采用的依然是多層鋁-氮/鋁太陽選擇性吸收涂層制造技術。這一技術是清華大學殷志強教授和他的同事們于1984年發明，1985年申報國家專利，1987年獲得批準的（專利號：ZL851001424）。

這一技術的基本原理是在鍍膜機內，設置單圓柱鋁靶的磁控濺射系統。鍍膜機內一次裝載數十只作為集熱管內管的玻璃管，在行星機構傳動下，玻璃管做公轉與自轉。立式圓柱鋁靶在中心位置，在氬氣中非反應濺射沉積鋁底層，再注入流量可控的氮氣，制備多層鋁—氮復合薄膜材料作為吸收層。

這一被稱為漸變鋁-氮、鋁太陽選擇性吸收涂層的制造技術，其太陽吸收比可達0。93，發射比約0。05（80℃）。這是世界上第一次只采用一種金屬材料，既制備金屬底層又制備復合薄膜材料的選擇性吸收涂層。清華陽光公司利用此項技術加工的曬樂牌紫金系列真空集熱管，經國家輕工業玻璃產品質量監督測試中心測試，其太陽吸收比α=0。95（AM1。5）；半球發射比εh=0。050（80℃±5℃）。

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