硅片厚薄不均的幾點防止辦法

硅片厚薄不均防止措施

1、TV偏大或偏小：依據客戶要求片厚，計算出最佳成本/質量的槽距，鋼線，碳化硅，砂漿密度。

2、TTV》15mm的硅片占比超過0.62%，屬于異常。對于一次切割的單位，應增加導向條(部位不提供)，兩次切割的單位最好把導輪(主輥)槽距改一下或第二次切割時砂漿流量增大500公斤/小時(5l/min)或多更換20公斤砂漿。

3、硅片的進刀處的進線端(角)偏薄或偏厚，應修改進刀時的砂漿流量

4、同一個硅片的厚度呈大-小-大-小分布的，應調整切割工藝程序。進給，線速，流量應平均同步變化。

5、跳線引起的某刀硅片厚度異常，同一個片的厚度異常，不同片子的厚度偏差等，因通過加過濾網/過濾袋/振蕩過濾器和切割前仔細過濾，沒有跳線來消除。

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