多晶硅材料的制備

當熔融的單質硅凝固時,硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核，如果這些晶核長成晶面取向相同的晶粒，則形成單晶硅。如果這些晶核長成晶面取向不同的晶粒，則形成多晶硅。

1）碳還原法

在電弧中，利用純度在99%以上的石英砂和焦炭或木炭在2000℃左右進行還原反應，可生成多晶硅。

2）三氯氫硅氫還原法

3）硅烷熱分析法

4）四氯化硅氫還原法

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